催化燃燒設備適用于處理高濃度小風量的有機廢氣，常與活性炭的吸附進程結合運用。選用活性炭附著設備將高風量、低濃度的有機廢氣濃縮為小風量、高濃度的有機廢氣。尾氣符合催化凈化設備的運用條件。

    催化燃燒設備將催化燃燒進程中的廢氣,廢氣管道經過風扇進入熱交換器加熱,再次進入加熱室將廢氣催化燃燒開始加熱到需要的溫度。加熱的廢氣經過催化劑層燃燒。由于催化劑的影響，催化燃燒進程的開始溫度約為250~300℃，遠低于直接燃燒法(670-800℃)，能耗遠低于直接燃燒法。在催化劑的活性作用下，反響后氣體發(fā)生一定量的熱量，高溫氣體再次進入換熱器，然后經過傳熱冷卻，在較低的溫度下經過風機排放到大氣中。

    催化燃燒設備也有其局限性,由于催化劑并非適用于一切的廢氣處理,選用合適的催化劑,是使有害氣體的可燃物質在低溫分化和氧化燃燒的辦法。

    現在市面上比較流行的是RCO催化燃燒，即活性炭吸附脫附催化燃燒一體設備，其核算原理是指在較低溫度下(200-400℃)，在催化劑的作用下使有機廢氣中的可燃組分徹底氧化分化，從而使氣體得到凈化處理的一種廢氣處理辦法。催化燃燒廢氣處理是典型的氣-固相催化反響，其實質是活性氧參與深度氧化作用。